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表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告
Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
GB/T 36401-2018现行国家标准
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PDF · 44 页 · 4.23MB
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基础信息
标准号
GB/T 36401-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-06-07
实施日期
2019-05-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
主管部门
中国科学院
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
内容预览
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