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硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GB/T 1557-2018现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 1557-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-06-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω · cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω · cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度；以低温红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
内容预览
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