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硅多晶气氛区熔基磷检验方法
Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
GB/T 4059-2018现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 4059-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。 本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.01×1013Cm-3~ 500×1013cm-3。
内容预览
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