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确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system
GB/T 16596-2019现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 16596-2019
标准状态
现行
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。 本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
内容预览
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