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微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法
DB44/T 1527-2015现行地方标准
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基础信息
标准号
DB44/T 1527-2015
标准状态
现行
发布日期
2015-01-30
实施日期
2015-04-30
中国标准分类号
N53
国际标准分类号
71.040.01
主管部门
广东省质量技术监督局
发布部门
广东省质量技术监督局
技术归口
广东省质量技术监督局
标准简介
本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。
内容预览
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