标准详情
硅抛光回收片
YS/T 985-2014现行行业标准
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基础信息
标准号
YS/T 985-2014
标准状态
现行
发布日期
2014-10-14
实施日期
2015-04-01
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
主管部门
工业和信息化部
发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国有色金属标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
内容预览
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