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降解电子级水总有机碳紫外线系统技术规程
Technical regulation of ultraviolet system for degradation of total organic carbon in electronic-grade water
T/CAMIE 15-2023现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CAMIE 15-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-09-18
实施日期
2023-10-18
中国标准分类号
J88
国际标准分类号
91.140.60
主管部门
中国环保机械行业协会
标准简介
本文件规定了用于降解电子级水总有机碳（TOC）紫外线系统的术语和定义、工艺设计、质量控制、安装、调试、验收、运行维护与安全防护。 本文件适用于电子级水制备工艺中采用紫外线方法降解总有机碳的系统（以下简称紫外线降解TOC 系统）。
内容预览
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