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远程等离子体源的解离率测试方法
Test method for dissociation rate of remote plasma source
T/GVS 015-2024现行团体标准
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基础信息
标准号
T/GVS 015-2024
标准状态
现行
发布日期
2024-10-10
实施日期
2024-10-10
中国标准分类号
N51
国际标准分类号
71.040.99
主管部门
广东省真空学会
标准简介
本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。
内容预览
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