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氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
T/ZSA 231-2024现行团体标准
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PDF · 10 页 · 339.27KB
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基础信息
标准号
T/ZSA 231-2024
标准状态
现行
发布日期
2024-05-15
实施日期
2024-05-16
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
29.045
主管部门
中关村标准化协会
标准简介
本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
内容预览
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