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线宽标准样片校准规范
Linewidth Standard Sample Calibration Specification
JJF（鄂）115-2024现行国家标准
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PDF · 14 页 · 729.72KB
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基础信息
标准号
JJF（鄂）115-2024
标准状态
现行
发布日期
2024-05-14
实施日期
2024-09-01
技术归口
湖北省市场监督管理局
标准简介
线宽标准样片（以下简称标准样片）是针对集成电路工艺参数测量设备，通过复现集成电路关键尺寸量值，通过扫描电子显微镜进行测量，在实际工作状态下对扫描电子显微镜完成校准。 标准样片是具备一个或多个典型值的专用标准样品，用于线宽测量仪器的校准。 本规范适用于线宽在 100nm~10μm 之间的线宽标准样片线宽的校准。
内容预览
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