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快速动态双频激光干涉仪校准规范
Calibration Specification for Fast Dynamic Heterodyne Interferometer
JJF（黑）07-2014现行国家标准
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PDF · 19 页 · 419.08KB
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基础信息
标准号
JJF（黑）07-2014
标准状态
现行
发布日期
2014-08-12
实施日期
2014-09-01
技术归口
黑龙江省质量技术监督局
标准简介
快速动态双频激光干涉仪是以激光波长为基准、按多普勒效应产生的多普勒频移进行几何量测量的测量仪器，主要用于位移的测量与标定，也可用于多个位移量的同步测量。快速动态双频激光干涉仪由双频激光器、干涉镜、反射镜、环境参数传感器、相位测量板卡与软件等组成。快速动态双频激光干涉仪可实现从静态位移量到动态位移量的实时测量与标定，可用作运动目标的实时位置监测与超精密动态定位。 本规范适用于快速动态双频激光干涉仪的校准。
内容预览
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