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300mm硅片表面纳米形貌的评价方法
Practice methods for nanotopography of 300 mm silicon wafer surface
GB/T 47906-2026即将实施国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 47906-2026
标准状态
即将实施
发布日期
2026-07-02
实施日期
2027-02-01
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
内容预览
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