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硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
DB35/T 1146-2011现行地方标准
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基础信息
标准号
DB35/T 1146-2011
标准状态
现行
发布日期
2011-04-10
实施日期
2011-07-10
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
主管部门
福建省质量技术监督局
发布部门
福建省质量技术监督局
技术归口
中国科学院福建物质结构研究所
标准简介
本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（GDMS)所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、Na、Mg、A 1、P、K、Th、U等元素的测定
内容预览
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