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集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
SJ/T 11507-2015现行行业标准
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基础信息
标准号
SJ/T 11507-2015
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
主管部门
工业和信息化部
发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。 本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。 本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
内容预览
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