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短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
SJ/T 11491-2015现行行业标准
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基础信息
标准号
SJ/T 11491-2015
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
工业和信息化部
发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。 本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法，测量低阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×10∧16at.com3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。
内容预览
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