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硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11493-2015已废止行业标准
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基础信息
标准号
SJ/T 11493-2015
标准状态
已废止
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
工业和信息化部
发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。 本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度＜0．2％（1×10∧2at·cm-3）的单晶样品，其中氮的浓度大于等于1 ×10∧14 at·cm-3
内容预览
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