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IC类半导体固晶机技术规范
T/SZBSIA 006-2022现行团体标准
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基础信息
标准号
T/SZBSIA 006-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-09-23
实施日期
2022-09-24
国际标准分类号
31.070
主管部门
深圳市宝安区半导体行业协会
标准简介
本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技 术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储 存。 本文件适用于IC类半导体固晶机。
内容预览
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