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微纳米金属烧结体电阻率测试方法 四探针法
T/CASAS 019-2021现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CASAS 019-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-11-01
实施日期
2021-12-01
国际标准分类号
31.080.01
主管部门
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准简介
本文件规定了第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试方法。 本文件适用于第三代半导体器件封装用微纳米金属烧结体的电阻率测试评价；此烧结体不包含烧结件的被连接件(如芯片)、连接基体。 本方法适用于直径大于探针间距10倍、厚度小于探针间距4倍的微纳米金属烧结体圆形样品体积电阻率的测试，不适用于薄膜样品方块电阻的测试。
内容预览
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