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碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
T/CASAS 013-2021现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CASAS 013-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-11-01
实施日期
2021-12-01
国际标准分类号
31.030
主管部门
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准简介
本文件规定了用化学择优腐蚀结合图像识别法检测碳化硅晶片中位错密度的方法。 本文件适用于4H及6H-SiC晶片材料中Si面位错检测及其密度统计，材料表面为化学机械抛光状态。
内容预览
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