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氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
T/IAWBS 015-2021现行团体标准
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基础信息
标准号
T/IAWBS 015-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-09-15
实施日期
2021-09-22
中国标准分类号
H80/84
国际标准分类号
29.045
主管部门
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
标准简介
本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单 晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 本文件适用于β相氧化镓单晶。
内容预览
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