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微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法
T/CSTM 00537-2021现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CSTM 00537-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-05-11
实施日期
2021-08-11
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
主管部门
中关村材料试验技术联盟
标准简介
本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。 本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
内容预览
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