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6 英寸碳化硅单晶抛光片
T/IAWBS 005-2018现行团体标准
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基础信息
标准号
T/IAWBS 005-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-12-06
实施日期
2018-12-17
国际标准分类号
29.045
主管部门
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
标准简介
本标准规定了6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于6 英寸4H 及6H 碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅抛光片。产品作为衬底材料主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件。
内容预览
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