标准详情
200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
T/ZZB 0648-2018现行团体标准
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基础信息
标准号
T/ZZB 0648-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-10-19
实施日期
2018-11-01
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
浙江省品牌建设联合会
标准简介
本标准规定了200mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。 本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
内容预览
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