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微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
T/BSPT 002-2018现行团体标准
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基础信息
标准号
T/BSPT 002-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-06-20
实施日期
2018-07-01
中国标准分类号
A28
国际标准分类号
19.020
主管部门
北京粉体技术协会
标准简介
本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。 本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。
内容预览
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