标准详情
200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片
T/NXCL 016-2022现行团体标准
下载标准电子版
PDF · 8 页 · 297.56KB
登录后可查看已购记录，会员和金币权益与电子标准网共用。
基础信息
标准号
T/NXCL 016-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-02
实施日期
2022-12-02
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
主管部门
宁夏材料研究学会
标准简介
本文件规定了200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)内容和质量承诺等方面的内容。 本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的重掺锑硅单晶的抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
内容预览
相关标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/GXAS 1444-2026 | 广西小麻鸭 | 现行 | 2026-10-15 | 2026-10-15 |
| T/GXAS 1445-2026 | 靖西大麻鸭 | 现行 | 2026-10-15 | 2026-10-15 |
| T/GXAS 1446-2026 | 右江鹅 | 现行 | 2026-10-15 | 2026-10-15 |
| T/GXAS 1447-2026 | 融水香鸭 | 现行 | 2026-10-15 | 2026-10-15 |
| T/GXAS 1448-2026 | 龙胜翠鸭 | 现行 | 2026-10-15 | 2026-10-15 |
| T/CPHA 79-2026 | 干散货码头装载机远程操控系统技术要求 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| T/CPHA 80-2026 | 干散货船舶自动清舱作业规程 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| T/CPHA 81-2026 | 卸船机料斗动态称重系统技术要求 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| T/CPHA 82-2026 | 港口设备状态智能诊断系统指南 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| T/YTSWA 010-2018 | 残疾人社会工作服务规范 | 现行 | 2026-10-11 | 2026-10-11 |