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MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
T/ZOIA 30001-2022现行团体标准
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基础信息
标准号
T/ZOIA 30001-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-29
实施日期
2022-12-29
中国标准分类号
L50
国际标准分类号
31.260
主管部门
中关村光电产业协会
标准简介
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。 本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
内容预览
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