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洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)

GB/T 25915.8-2021现行国家标准

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GB/T 25915.8-2021 · 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

基础信息

标准号

GB/T 25915.8-2021

标准状态

现行

发布日期

2021-08-20

实施日期

2022-03-01

中国标准分类号

C70

国际标准分类号

13.040.35

主管部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准简介

本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组或类)的浓度,对空气化学污染进行分级。同时,本文件分级技术要求,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。 本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中10°g/m3~10-12g/m3的化学污染物浓度。 本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和生产。 本文件无意探讨空气化学污染物的特性。 本文件不包含对表面化学污染的分级。

内容预览

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