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洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

GB/T 25915.12-2021现行国家标准

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GB/T 25915.12-2021 · 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

基础信息

标准号

GB/T 25915.12-2021

标准状态

现行

发布日期

2021-10-11

实施日期

2022-05-01

中国标准分类号

C70

国际标准分类号

13.040.35

主管部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准简介

本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。 注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。 注3:本文件未考虑健康与安全事项。

内容预览

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