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洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination
GB/T 25915.8-2010已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 25915.8-2010
标准状态
已废止
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-06-01
中国标准分类号
C70
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
GB／T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度，对空气分子污染(AMC)进行分级。同时，本部分在分级技术要求中，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下l0 0g／m3～l0-12g／m3的AMC浓度。 本部分不涉及那些虽有空气分子物质存在、但不认为对产品或工艺有风险的行业、工艺和生产。 本部分无意探讨空气分子污染物的特性。 本部分不包含对表面分子污染的分级。
内容预览
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