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电子工业用气体 三氯化硼
GB/T 17874-1999已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 17874-1999
标准状态
已废止
发布日期
1999-09-16
实施日期
2000-06-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准化管理委员会
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以粗制三氯化硼为为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
内容预览
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