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电子工业用气体 高纯氯
GB/T 18994-2003已废止国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 18994-2003
标准状态
已废止
发布日期
2003-03-05
实施日期
2003-08-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准化管理委员会
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
标准简介
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70．906(按1999年国际相对原子质量)。 101．3 kPa下的沸点：一34．O5℃。 101．3 kPa下的熔点：一l01．0。C。 101．3 kPa及20℃下气体的密度：2．9
内容预览
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