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洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
GB/T 25915.9-2018现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 25915.9-2018
标准状态
现行
发布日期
2018-06-07
实施日期
2018-10-01
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。 本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05μm~500μm的粒子。 本部分对以下事项未予考虑： ——特定工艺的洁净度及适合性要求； ——表面的清洁步骤； ——材料特性； ——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项； ——分级和
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