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少子寿命测量仪校准规范
Calibration Specification for Minority Carrier Lifetime Tester
JJF（闽）1120-2021现行国家标准
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基础信息
标准号
JJF（闽）1120-2021
标准状态
现行
发布日期
2021-09-19
实施日期
2021-10-19
技术归口
福建省市场监督管理局
标准简介
基于无接触微波反射光电导衰减测试法的少子寿命测量仪是用来测试半导体材料的载流子复合寿命的测量仪器，其工作过程主要包括激光注入产生电子-空穴对和微波反射信号的变化两个过程。激光注入产生电子-空穴对，导致样品电导率的增加，当撤去外界光注入时，电导率随时间指数衰减，这一趋势间接反映载流子的衰减趋势，从而通过观测由电导率随时间变化的趋势就可以得到载流子的寿命。用微波反射信号来监测电导率的变化，是依据微波反射信号的变化量与电导率的变化量成正比的原理。其测试系统主要由脉冲光源、光子监测器、微波采样系统、样品台、衰减信
内容预览
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