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微波ECR等离子体发生器校准规范
T/BEA 40002-2022现行团体标准
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基础信息
标准号
T/BEA 40002-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-01-18
实施日期
2022-02-09
国际标准分类号
01.020
主管部门
北京电子仪器行业协会
标准简介
本规范规定了微波 ECR 等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的 处理。 本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
内容预览
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