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感应耦合等离子体发生器校准规范

T/BEA 40001-2022现行团体标准

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T/BEA 40001-2022 · 感应耦合等离子体发生器校准规范

基础信息

标准号

T/BEA 40001-2022

标准状态

现行

发布日期

2022-01-18

实施日期

2022-02-09

国际标准分类号

01.020

主管部门

北京电子仪器行业协会

标准简介

本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。 本标准适用于真空环境下使用的新制造(或新购置)和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。

内容预览

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