标准详情
机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
GB/T 5226.33-2017现行国家标准
下载标准电子版
PDF · 100 页 · 7.6MB
登录后可查看已购记录，会员和金币权益与电子标准网共用。
基础信息
标准号
GB/T 5226.33-2017
标准状态
现行
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
中国标准分类号
J09
国际标准分类号
29.020
主管部门
中国机械工业联合会
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
中国机械工业联合会
标准简介
GB/T5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。 注1：本部分中的“电气＂一词包括电气、电子和可编程电子设备三方面（如电气设备是指电气设备、电子设备和可编程电子设备）。 注2：就本部分而言，“人”(Person）一词泛指任何个人包括受用户或其代理指派，使用和管理上述设备的人。 本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引人处开始的（见5.1)。 注3:GB/T16895系列标准给出了建筑物电气装置的要求。 本部分适用的电气设备或电气设备部件，
内容预览
相关标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JJF（冀）5016-2026 | 白内障超声乳化仪校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）269-2026 | 模拟量输入输出通道模板校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）268-2026 | 工频高压试验装置校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJG（冀）275-2026 | 车用甲醇燃料加注机检定规程 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）272-2026 | 橡胶平板硫化机温度、压力参数校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）273-2026 | 直接检眼镜校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）271-2026 | 橡胶可塑性试验机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）270-2026 | 汽车内饰材料燃烧试验机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）274-2026 | 转子式定量给料机校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |
| JJF（冀）5014-2026 | 脉搏血氧计校准规范 | 现行 | 2026-10-12 | 2026-10-12 |