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纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
GB/T 42106-2022现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 42106-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
中国标准分类号
A42
国际标准分类号
07.030
主管部门
中国科学院
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
中国科学院
标准简介
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。 本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
内容预览
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