标准详情
洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
GB/T 25915.15-2022现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 25915.15-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求，提供了指南。 本文件不适用于以下内容：健康和安全要求；清洁剂及清洁技术的相容性；清洁性；生物污染；工艺和产品对设备和材料的特定要求；设备的设计细节。
内容预览
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