标准详情
洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
GB/T 25915.14-2022现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 25915.14-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1μm至大于或等于5μm。 本文件不适用于：根据微生物污染评估适用性；对清洁剂及清洁技术的适用性进行测试；设备和材料的可清洁性；设备设计及材料选择的要求；材料的静电、热学等物理性能；具体工艺场合设备性能的优化；测试统计方法的选用；当地安全法规的条款和要求。
内容预览
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