标准详情
洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
GB/T 25915.13-2022现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 25915.13-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
中国标准分类号
C70
国际标准分类号
13.040.35
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面（外表面、内表面）。 本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度（SCP）和表面化学洁净度的化学物浓度（SCC）洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。
内容预览
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