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氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
GB/T 42274-2022现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 42274-2022
标准状态
现行
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-04-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
主管部门
国家标准委
发布部门
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016cm-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。
内容预览
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