标准详情
碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
T/CASAS 026-2023现行团体标准
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基础信息
标准号
T/CASAS 026-2023
标准状态
现行
发布日期
2023-06-19
实施日期
2023-06-19
中国标准分类号
H80/84
国际标准分类号
31.030
主管部门
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准简介
本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。 本文件适用于少数载流子寿命为 20 ns~200 μs 的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。
内容预览
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