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电子工业用气体 四氟化硅
Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
GB/T 31058-2014现行国家标准
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基础信息
标准号
GB/T 31058-2014
标准状态
现行
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
主管部门
国家标准委
发布部门
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
技术归口
国家标准委
标准简介
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。 本标准适用于萤石硫酸法、六硅酸盐热分解法、单质硅直接化法制备的四氟化硅它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。 分子式：SiF4。 相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。
内容预览
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